128 128 PtSi红外焦平面用硅衍射微透镜阵列的设计与制备

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaohe1025
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通过考虑互相关联的光学和工艺参数 ,设计了 3~ 5 μm红外 12 8× 12 8硅衍射微透镜阵列 .阵列中微透镜的孔径为 5 0 μm,透镜 F数为 f/ 2 .5 ,微透镜阵列的中心距为 5 0 μm.采用多次光刻和离子束刻蚀技术在硅衬底表面制备衍射微透镜阵列 .对实际的工艺过程和制备方法进行了讨论 ,对制备出的 12 8× 12 8硅衍射微透镜阵列的光学性能和表面浮雕结构进行了测量 . A 3 ~ 5 μm infrared 12 8 × 12 8 Si diffractive microlens array was designed by considering the interrelated optical and process parameters.The microlens array in the array had a diameter of 50 μm and a lens F number of f / 2.5. The center distance of the lens array is 50 μm.The diffraction microlens arrays were prepared on the surface of silicon substrate by using multiple photolithography and ion beam etching techniques.The actual process and preparation methods were discussed, The optical properties and surface relief structure of the X 12 8 Si diffractive microlens array were measured.
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