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期刊论文
常压MOCVD法在多孔硅上生长GaAs
常压MOCVD法在多孔硅上生长GaAs
来源 :中国科学技术大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lok119119119
【摘 要】
:
采用自己发展的HF化学预处理技术和常压MOCVD法在多孔硅上首次生长出了基本上是单晶的GaAs膜,研究了GaAs膜的结构和光学特性。通过对Si、PS、GaAs/Si和GaAs/PS的Raman散射分析,初步论述了PS的Raman散射谱的峰肩起源可能与表面
【作 者】
:
尹民
楼立人
【机 构】
:
中国科学大学物理系
【出 处】
:
中国科学技术大学学报
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
化学预处理
MOCVD
砷化镓
多孔硅
常压
HF vapor polishing
MOCVD
GaAs/PS
Raman scattering
【基金项目】
:
国家自然科学基金,中国科技大学结构分析开放实验室资助
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采用自己发展的HF化学预处理技术和常压MOCVD法在多孔硅上首次生长出了基本上是单晶的GaAs膜,研究了GaAs膜的结构和光学特性。通过对Si、PS、GaAs/Si和GaAs/PS的Raman散射分析,初步论述了PS的Raman散射谱的峰肩起源可能与表面氧化有关。
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