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Magnetoresistive Sensor Readout Circuitand Field Canceling System in Next Gen-eration Nano-Fab摘要：提出了电源线的极低频磁场会对纳米级集成电路制作产生影响;设计了针对电子束蚀刻法系统的主动屏蔽系统;并对所设计系统进行了仿真和实验。