【摘 要】
：
<正> 高纯气体中尘埃粒子的存在,不但严重影响了电子产品的质量,而且使电子元件制备工艺不稳定和成品率降低。因此,排除尘埃粒子对高纯气体的污染,是气体洁净技术中的一项必
论文部分内容阅读
<正> 高纯气体中尘埃粒子的存在,不但严重影响了电子产品的质量,而且使电子元件制备工艺不稳定和成品率降低。因此,排除尘埃粒子对高纯气体的污染,是气体洁净技术中的一项必不可少的重要工作。为了满足电子工业的需要,1986年9月,北京市特种气体研究所承担了“七五”科技攻关项目高纯气体净化的研究。对于4.5N氧、4.5N氮、5.5N氩、5.5N氢5.5N、氦等5种电子级高纯气体,要求研制的过滤器能有效地控制尘埃粒子使对5微米(16K位)的电路,粒径>0.5
其他文献
<正> 本发明论述的是有关使充装在钢瓶中的纯度为99.999%及其以上的超纯气体或液化气体,为使其纯度不降低而保存,以及在间断或连续使用时,保持其纯度不变的方法。以往,在制造
本文以地形图、遥感图像为数据来源,应用景观生态学数量分析方法研究了山东省冠县居民点景观格局特征的变化,结果表明:农村经济改革后,随着农业、农村经济的发展,冠县居民点
石油是各个国家和地区重要能源之一,它是国家安全、繁荣的基础和前提。受到诸多因素的影响,我国石油产业发展阻碍重重。我国正处于产业结构转型和升级阶段,经济增长步入新常
善意取得制度是近代以来为适应商品交换需要而产生的重要法律制度。随着市场经济日益繁荣,交易节奏逐渐加快,善意取得制度在促进和保护市场交易安全,维护正常的市场交易秩序
为贵州龙胆属植物资源的保护及可持续利用提供参考,通过野外考察、标本采集、分类学鉴定及资料考证,对贵州龙胆属(Gentiana)植物资源进行了调查研究。结果表明:贵州有龙胆属
<正>互联网金融和移动支付的迅速普及帮助手机完成了一次华丽的变身,它不再只是一个通讯的工具,更成为金融的载体。但手机与金融和移动互联网融合的模式也带来了硬件、金融、
通过田间试验,比较了烟雾机弥烟施药技术和常规喷雾法防治苹果病虫害的效果。结果表明:弥烟区苹果白粉病第7、14 d的防效为92.28%、96.18%,比常规区防效提高6.32、7.78个百分
天然气中水分测量方法的标准化,自1976年就列入了ISO/TC158的工作计划。但在ISO/TC158/WG4N54(1977年)和N122(1979年)两个文件中未能取得一致。为起草这方面的标准,ISO/TC158
<正> 前言随着新技木的发展,各领域对高纯气体的品种和质量要求愈来愈高,半导体微电子器件工业,电真空材料加工,各种金属的冶炼和处理,大规模集成电路的研究和生产,色谱等精