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化学束外延及其在半导体材料与器件中的应用
化学束外延及其在半导体材料与器件中的应用
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wybyoung
【摘 要】
:
本文介绍了薄膜晶体生长的最新技术--化学束外延(CBE),通过与分子束外延(MBE)和金属有机化学汽相沉积(MOCVD)技术的比较,说明了这一新技术的基本概念,生长动力学以及在半导体
【作 者】
:
钟景昌
【机 构】
:
长春光机学院
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1990年1期
【关键词】
:
化学束外延
生长动力学
半导体材料
半导体器件
CBE
Growth Dynamics
Semiconductor Materials and Device
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本文介绍了薄膜晶体生长的最新技术--化学束外延(CBE),通过与分子束外延(MBE)和金属有机化学汽相沉积(MOCVD)技术的比较,说明了这一新技术的基本概念,生长动力学以及在半导体材料和激光器件方面的应用.
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