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电子束蒸发制备氮化硼薄膜的红外光谱研究
电子束蒸发制备氮化硼薄膜的红外光谱研究
来源 :光散射学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ryan1114
【摘 要】
:
用电子束蒸发法制备氮化硼薄膜,分别研究束流大小和蒸发时间长短对薄膜质量的影响,薄膜以红外吸收光谱标识。实验结果表明,束流大小和蒸发时间长短对薄膜质量都有影响,经过900℃
【作 者】
:
邓金祥
郭清秀
崔敏
赵卫平
杨冰
杨萍
【机 构】
:
北京工业大学应用数理学院
【出 处】
:
光散射学报
【发表日期】
:
2009年4期
【关键词】
:
氮化硼薄膜
电子束蒸发
红外光谱
Boron nitride thin films
Electron beam evaporation
IR Spectra
【基金项目】
:
基金项目:国家自然科学基金(60876006,60376007),北京市自然科学基金(4072007),北京市属市管高等学校人才强教计划资助项目,北京市教委资助项目(KM200910005018),教育部学回国人员科研启动基金资助项目
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用电子束蒸发法制备氮化硼薄膜,分别研究束流大小和蒸发时间长短对薄膜质量的影响,薄膜以红外吸收光谱标识。实验结果表明,束流大小和蒸发时间长短对薄膜质量都有影响,经过900℃氮气保护退火后,都得到了高立方相含量的氮化硼薄膜。
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