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利用金属有机物化学气相沉积（MOCVD）方法在蓝宝石c面衬底上制备出高反射率A1N／GaN分布布拉格反射镜（DBR）。利用分光光度计测量，在418nm附近最大反射率达到99％。样品表面显微照片显示，有圆弧形缺陷和少量裂纹出现；在缺陷和裂纹以外的区域，DBR具有较为平坦的表面，其粗糙度在10μm×10μm面积上为3．3nm左右。样品的截面扫描电镜（SEM）照片显示，DBR具有良好的周期性。对反射率和表面分析的结果表明，该样品达到了制备GaN基垂直腔面发射激光器（VCSEL）的要求。