Effects of Atomic Oxygen Irradiation on Transparent Conductive Oxide Thin Films

来源 :中国航空学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ricky1281214

【摘要】

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透明传导性的氧化物(TCO ) 薄电影是在在太空船抵抗系统的太阳能电池和原子氧(AO ) 有潜在的应用的一种功能的材料。TCO， ZnO : 艾尔(ZAO ) 和 In2O3 : Sn (ITO ) 薄电影广泛

【作者】

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Wang Wenwen Wang Tianmin

【机构】

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CenterofMaterialPhysicsandChemistry

【出处】

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中国航空学报：英文版

【发表日期】

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2007年5期

【关键词】

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透明传导氧化反应 ZNO:AL In2O3:Sn 航空系统 transparent conductive oxide thin film ZnO：Al I

【基金项目】

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National Natural Science Foundation of China（50471004）

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透明传导性的氧化物(TCO ) 薄电影是在在太空船抵抗系统的太阳能电池和原子氧(AO ) 有潜在的应用的一种功能的材料。TCO， ZnO : 艾尔(ZAO ) 和 In2O3 : Sn (ITO ) 薄电影广泛地被使用了并且调查。在这研究， ZAO 和 ITO，薄电影被 AO 与 fluence 的不同数量照耀。同样扔的样品和照耀的被 X 光检查衍射(XRD ) 描绘，扫描电子显微镜学(SEM ) 和调查 AO 照耀的 fluence 的数量上的结构，形态学和 ZAO 或 ITO 的电的性质的依赖的大厅效

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