Confocal Image 3D Surface Measurement with Optical Fiber Plate

来源 :半导体光子学与技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bbs_zj

【摘要】

：

A whole-field 3D surface measurement system for semiconductor wafer inspection is described.The system consists of an optical fiber plate,which can split the li

【作者】

：

WANGZhao ZHUSheng-cheng LIBing

【机构】

：

InstituteofLaserandInfraredApplication,InstituteofLaserandInfraredApplication

【出处】

：

半导体光子学与技术：英文版

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

三维形貌测共焦显微光纤阳极共焦图象 D shape measurement Confocal microscopy Optical fiber pla

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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A whole-field 3D surface measurement system for semiconductor wafer inspection is described.The system consists of an optical fiber plate,which can split the light beam into N2 subbeams to realize the whole-field inspection.A special prism is used to sepa

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