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对真空分层蒸镀的InSb薄膜进行了区域溶融热处理，与普通升温热处理相比，薄膜的结晶度和电学性能有较大的提高。应用成膜理论分析了区域熔融技术对于InSb薄膜结构和性能的影响。
区域熔融技术在InSb薄膜热处理中的应用研究
【摘 要】
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对真空分层蒸镀的InSb薄膜进行了区域溶融热处理，与普通升温热处理相比，薄膜的结晶度和电学性能有较大的提高。应用成膜理论分析了区域熔融技术对于InSb薄膜结构和性能的影响。
【机 构】
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浙江大学信电系!杭州310008,浙江大学信电系!杭州310008
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1996年03期
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