论文部分内容阅读
MEMS传感器成为全世界增长最快的产品之一,MEMS产品的可靠性高,技术附加值高,市场回报率大于传统产业。MEMS传感器与系统将会有更大的市场增长,惯性测量器件、微流量器件、光MEMS器件、压力传感器、加速度传感器、微型陀螺和汽车领域应用的MEMS器件(压力传感器、加速度传感器、微型陀螺)等的应用将具有巨大的潜力。