【摘 要】
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双材料梁因其良好的热机械特性作为敏感部件被广泛用于热能传感器中．采用微电子工艺实现的双材料梁通常由金属和非金属作为主要功能材料构成，若两层材料之间粘附性差，则需加入一
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,中国传媒大学光电学系
【基金项目】
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基金项目：国家自然科学基金（60576053）,国家高科技研究发展计划资助项目（2007AA32333）
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双材料梁因其良好的热机械特性作为敏感部件被广泛用于热能传感器中．采用微电子工艺实现的双材料梁通常由金属和非金属作为主要功能材料构成，若两层材料之间粘附性差，则需加入一层粘附材料．根据材料力学热应力和弯拉组合理论，建立了用于分析具有中间粘附层的复合双材料（即三层材料）微悬臂梁的关于材料物理参数、结构尺寸与梁受热弯曲产生转角关系模型；利用此模型和工艺中常用材料，研究了三层材料微悬臂梁的材料选取、各层材料厚度匹配等优化设计问题．通过对像元仿真和对硅工艺制造的红外焦平面阵列（IRFPA）芯片进行测试，验证了模型的
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