一种新型MEMS可调滤波器的设计

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liwuyi
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提出了一种采用非均匀分布MEMS结构的可调滤波器设计方案。基于这种新型结构,讨论了一个中心频率为20GHz的二阶带通可调滤波器模型。通过HFSS对该二阶带通滤波器模型进行了全波分析。仿真结果表明:通过分别改变共面波导结构上方不同部分的MEMS电容高度,该滤波器中心频率在18.71~20.62GHz连续可调,相应的3dB带宽值为2.36GHz和2.94GHz。该滤波器9.5%的可调率相比于同类型均匀分布式滤波器的可调范围增加了大约18.6%(300MHz)。通过分析可知,采用非均匀分布MEMS结构的可调滤波器不仅结构更紧凑合理,而且获得了比均匀结构更大的调节范围,极大地增加了设计的灵活性。 An adjustable filter design using non-uniformly distributed MEMS structure is proposed. Based on this new structure, a second-order band-pass tunable filter model with a center frequency of 20GHz is discussed. The second-order band-pass filter model was analyzed by HFSS. The simulation results show that the center frequency of the filter is continuously adjustable from 18.71 to 20.62 GHz by changing the MEMS capacitive heights of different parts of the coplanar waveguide structure respectively, and the corresponding 3dB bandwidth values ​​are 2.36 GHz and 2.94 GHz. The tunable rate of 9.5% of the filter is about 18.6% (300MHz) higher than the tunable range of the same type of uniform distributed filter. The analysis shows that the tunable filter with non-uniformly distributed MEMS structure not only makes the structure more compact and reasonable, but also obtains a larger adjustment range than the uniform structure, which greatly increases the design flexibility.
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