大口径等离子炬与金刚石沉积工艺研究

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研制了一种大喷口直径的等离子炬.等离子焰直径可达25mm。利用该等离子炬在氩气—氢气—石油液化气体系中进行了系统的工艺参数试验,获得了质量较高的金刚石膜。简要论述了其应用前景。 Developed a large diameter of the plasma torch plasma flame diameter up to 25mm. The plasma torch was used to test the system parameters in argon-hydrogen-petroleum liquefied gas system, and the high quality diamond film was obtained. Briefly discusses its application prospects.
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