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金属剥离与衬底腐蚀等平面自对准OHR技术研究
金属剥离与衬底腐蚀等平面自对准OHR技术研究
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:taodengjiang
【摘 要】
:
开发了一套OHR(OverhangResist)技术。在原来剥离工艺的基础上,增加苯处理和高温烘烤工艺,使光刻胶掩膜既保持有利于剥离的形状,腐蚀时又不发生钻蚀,完成自对准腐蚀与等平面
【作 者】
:
闫桂珍
张大成
李婷
王颖
【机 构】
:
北京大学微电子学研究所
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2002年01期
【关键词】
:
金属剥离
衬底腐蚀
氯苯浸泡
自对准
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开发了一套OHR(OverhangResist)技术。在原来剥离工艺的基础上,增加苯处理和高温烘烤工艺,使光刻胶掩膜既保持有利于剥离的形状,腐蚀时又不发生钻蚀,完成自对准腐蚀与等平面的金属剥离。这一技术可以广泛地应用于MEMS和集成电路加工工艺中,使器件工艺简化,降低成本,提高质量。
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