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采用直流反应磁控溅射在A1Mn合金表面制备出ITO薄膜。采用扫描电镜、X射线衍射、紫外一可见光测试、磨损试验、盐雾试验、薄膜厚度测量和显微硬度试验等方法对制备的ITO薄膜表面进行检测分析。结果表明：在溅射功率210W、衬底温度120℃、溅射时间20min的条件下，AIMn合金表面的ITO薄膜晶粒尺寸细小，与基底结合良好，A1Mn合金表面光泽度好，强度、硬度高，并具有一定的耐磨、耐蚀性能。