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介绍了０．８～１．０μｍ分步重复投影光刻机双光路光栅衍射同轴对准系统的构成及原理，详细讨论了对准数据的软件处理和计算方法，并给出实际测试结果。
分步重复投影光刻机同轴对准数据处理
【摘 要】
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介绍了０．８～１．０μｍ分步重复投影光刻机双光路光栅衍射同轴对准系统的构成及原理，详细讨论了对准数据的软件处理和计算方法，并给出实际测试结果。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
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2000年1期
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