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研究了在预制绒基片上进行RIE织构化处理，得到的硅片表面具有很好的陷光效果，平均反射率仅为6％左右。通过热氧化法改善表面损伤，发现在温度900℃下，氧化膜厚度为40nm时，可得到较高的有效少子寿命，由此制得电池的内量子效率（IQE）、短路电流密度均有提商。
反应离子刻蚀法制绒在单晶硅太阳电池上的应用
【摘 要】
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研究了在预制绒基片上进行RIE织构化处理，得到的硅片表面具有很好的陷光效果，平均反射率仅为6％左右。通过热氧化法改善表面损伤，发现在温度900℃下，氧化膜厚度为40nm时，可得到较高
【机 构】
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无锡尚德太阳能电力有限公司
【出 处】
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太阳能
【发表日期】
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2012年19期
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