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针对超洁净过渡间内的微粒状态对激光系统正常运行的影响，以气溶胶扩散理论为指导，建立超净精密装校装运系统过渡间内污染物质整体浓度模型和扩散模型。对整体浓度模型，分析了稳定状态下和不稳定状态下的污染物质浓度模型的表示方法和实现过程；对扩散模型，分析了基于“反射壁”和“吸收壁”模型的建模和计算过程。通过浓度和扩散模型，可认识过渡间内部污染物粒子的浓度变化及分布，为超净精密装校装运系统设计提供参考。