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采用浸渍活性炭吸附净化低浓度磷化氢,研究气相中磷化氢在浸渍活性炭上的吸附平衡和吸附动力学过程。不同温度下的吸附等温线实验测定结果表明：PH3在20~40℃的低温范围内属物理吸附,而在60~95℃的高温范围内属化学吸附,磷化氢在浸渍活性炭上的吸附平衡关系符合Freundlich方程;通过对吸附速率曲线拟合可以得到理想的吸附速率方程,氧体积分数为1%的微氧条件下低浓度磷化氢在浸渍活性炭上的吸附动力学行为遵循班厄姆动力学方程。