【摘 要】
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讨论离子注入在介质中输运的数值模拟方法，采用扩散理论和交替方向隐式的 Ｄ－ Ｒ 差分法，以砷离子注入在硅单晶中输运为实例，数值模拟结果与实验结果基本相符。
In this paper, the
【机 构】
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讨论离子注入在介质中输运的数值模拟方法，采用扩散理论和交替方向隐式的 Ｄ－ Ｒ 差分法，以砷离子注入在硅单晶中输运为实例，数值模拟结果与实验结果基本相符。
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