【摘 要】
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采用蒙特卡罗的方法模拟了铜掺杂碳膜的淀积过程。首先建立空间网格结构，通过在网格结构上随机降落原子来模拟薄膜的淀积过程。薄膜的电学特性通过解泊松方程来计算。仿真结果
【基金项目】
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中国国家基础研究计划资助项目（2011CBA00604,2011CB933004）,国家自然科学基金资助项目（61076115）
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采用蒙特卡罗的方法模拟了铜掺杂碳膜的淀积过程。首先建立空间网格结构，通过在网格结构上随机降落原子来模拟薄膜的淀积过程。薄膜的电学特性通过解泊松方程来计算。仿真结果表明，薄膜表面的粗糙程度随着碳含量的上升而下降；含碳量为20％～25％的薄膜电阻很低而含碳量在60％～75％的薄膜电阻则很高。仿真结果与现有实验结果高度吻合，保证了仿真的正确性。
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