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采用微波等离子体化学气相沉积法，以甲烷和氮气为气源，通过改变反应气体中氢气的浓度，在硅衬底上沉积出掺杂氮的超纳米金刚石膜。并利用扫描电子显微镜，拉曼光谱仪，X射线衍射仪，霍尔效应测试仪分别对掺杂氮的超纳米金刚石膜的表面形貌，组成结构及导电性能进行了进行表征，重点研究了氢气浓度对薄膜特性的影响。结果表明：随着氢气浓度的增加，薄膜的晶粒尺寸逐渐增大；薄膜的质量提高，且由G峰漂移引起的压应力逐渐减小；薄膜导电性变差。