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研究了影响双注入技术的各种因素及双注入技术的灵敏度,并与C—V技术进行比较。结果表明,双注入技术不仅克服了C-V技术的缺点,而且灵敏度高(可大于1),可靠性好,适用于低剂量(10~(10)～10~(12)cm~(-2))注入监控。
双注入技术进行低剂量监控
【摘 要】
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研究了影响双注入技术的各种因素及双注入技术的灵敏度,并与C—V技术进行比较。结果表明,双注入技术不仅克服了C-V技术的缺点,而且灵敏度高(可大于1),可靠性好,适用于低剂量(
【机 构】
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中国华晶电子集团公司中央研究所,中国华晶电子集团公司中央研究所无锡214035,无锡214035
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1992年3期
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