【摘 要】
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采用气相色谱分析系统,建立了一种精准测定高纯氟化氢(HF)中微量杂质气体的方法。以高纯氦为载气,高纯HF经专用除水装置除水、预分离柱分离、反吹处理,气体杂质通过分子筛柱
【机 构】
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衢州市氟硅技术研究院,浙江博瑞电子科技有限公司,爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处
【基金项目】
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国家重点研发计划项目课题(No.2017YFB0405803)
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采用气相色谱分析系统,建立了一种精准测定高纯氟化氢(HF)中微量杂质气体的方法。以高纯氦为载气,高纯HF经专用除水装置除水、预分离柱分离、反吹处理,气体杂质通过分子筛柱和Hayesep柱分离后进入氦放电离子化检测器(DID),用外标法定量分析微量杂质组分H2、O2+Ar、N2、CH4、CO和CO2,体积分数检出限可达10^-8,相对标准偏差(RSD)<5%。该方法准确、可靠、精密度好,能够精准检测HF气体中的微量气体杂质。
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