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本文对JJG28-2000<平晶>中以等厚干涉法检定工作平晶(D30mm～100mm)平面度的方法进行了分析、评定,得出了平面度的测量结果不确定度.
工作平晶平面度测量不确定度评定
【摘 要】
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本文对JJG28-2000<平晶>中以等厚干涉法检定工作平晶(D30mm～100mm)平面度的方法进行了分析、评定,得出了平面度的测量结果不确定度.
【机 构】
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湖南省计量测试技术研究所
【出 处】
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中国测试技术
【发表日期】
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2003年2期
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