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本文介绍了PECVD G8.5设备RF系统的结构和工作原理。结合PECVD设备在实际生产过程中反射功率过高的问题,通过RF Generator设置,RF match电容配比实验,设备故障以及备件管理的分析,制定了相应的解决对策,从而实现RF系统阻抗匹配,降低RF系统故障发生率。
PECVD RF系统原理和故障改善
【摘 要】
：
本文介绍了PECVD G8.5设备RF系统的结构和工作原理。结合PECVD设备在实际生产过程中反射功率过高的问题,通过RF Generator设置,RF match电容配比实验,设备故障以及备件管理的
【机 构】
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北京京东方显示技术有限公司
【出 处】
：
中国设备工程
【发表日期】
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2019年9期
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