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用X射线衍射方法研究了超微晶合金Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9在退火过程中晶化相及晶格常数的变化。经480℃×1h退火后,合金中出现bccFe(Si)相,600℃出现Fe3B相,670℃出现Fe23B6相。退火温度升高时,Fe(Si)相的晶格常数由0.2838nm上升到0.2849nm合金经过550℃×4h退火后仍只有Fe(Si)一个晶化相,其晶格常数随时间的变化不明显。