DLC薄膜的表面形貌及其摩擦学性能研究

来源 :润滑与密封 | 被引量 : 0次 | 上传用户：btmax22

【摘要】

：

以真空蒸发碳离子束辅助镀膜法制备了DLC薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)观察了该薄膜的表面形貌,对该薄膜的表面形貌对其摩擦学行为的影响进行了研究.研究

【作者】

：

白秀琴李健严新平

【机构】

：

武汉理工大学可靠性工程研究所,武汉材料保护研究所,武汉理工大学可靠性工程研究所

【出处】

：

润滑与密封

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

DLC薄膜真空蒸发离子束辅助镀膜表面形貌摩擦学性能 Amorphous filmsIon beamsSurface roughnessSurface to

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以真空蒸发碳离子束辅助镀膜法制备了DLC薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)观察了该薄膜的表面形貌,对该薄膜的表面形貌对其摩擦学行为的影响进行了研究.研究发现:用真空蒸发碳离子束辅助镀膜的方法制备的类金刚石薄膜表面光滑,颗粒均匀,粒度小,摩擦因数降低;DLC薄膜比弹簧钢片及Ti6Al4V球基体耐磨;DLC薄膜的摩擦学性能在摩擦过程中会进一步改善.

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