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期刊论文
nc-Si∶H薄膜的制备及特性表征
nc-Si∶H薄膜的制备及特性表征
来源 :西北大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:lxget
【摘 要】
:
利用等离子体化学气相沉积技术制备纳米硅(nc-Si∶H)薄膜材料,并用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、Raman光谱仪对成膜的状态进行了表征.用红外吸收光谱仪对不同工艺薄
【作 者】
:
张志勇
王雪文
赵武
阎军峰
戴琨
【机 构】
:
西北大学
【出 处】
:
西北大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2002年5期
【关键词】
:
等离子化学气相沉积技术
纳米硅薄膜
结构分析
PECVD ncSi∶H films structure analysis
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利用等离子体化学气相沉积技术制备纳米硅(nc-Si∶H)薄膜材料,并用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、Raman光谱仪对成膜的状态进行了表征.用红外吸收光谱仪对不同工艺薄膜的结构进行了分析,研究了偏压对薄膜结构的影响,为纳米硅薄膜在光电子方面的应用提供可靠的依据.
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