检查光学零件表面疵病的反射式激光扫描方法

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本文介绍了一种激光反射式扫描方法(简称 LRS 方法)。通过一定的光学系统使激光束在被检透镜表面会聚成一个椭圆形光斑,并按照螺旋线对整个表面进行扫描。当扫描时,从表面反射的光能量变化由光电元件转换成讯号脉冲,经电路处理后,以累计数字形式把表面疵病的总面积用数显或打印出来。螺旋线扫描是由被检镜转动和光学系统绕被检球面的球心摆动两个部份组成。文中介绍了可调半径的模拟球面装置,这种方法基本上能满足对不同曲率半径的光学透镜扫描的要求。文中给出的测试数据证明最小能检测的划痕宽度约为2~3μ。最后指出了存在的一些问题。 This article describes a laser reflection scanning method (referred to as LRS method). Through a certain optical system, the laser beam converges into an elliptical spot on the surface of the inspected lens, and the whole surface is scanned according to the helix. When scanning, the change of light energy reflected from the surface is converted into a signal pulse by the photoelectric element, and after circuit processing, the total area of ​​the surface flaw is digitally printed or printed out in a cumulative digital form. Helical scanning by the mirror is rotated and the optical system around the ball to be seized spherical center swing two parts. In this paper, a tunable radius simulated spherical device is introduced, which can basically meet the requirements of optical lens scanning with different radius of curvature. The test data given in this paper demonstrates that the smallest scratch width that can be detected is about 2 ~ 3μ. Finally pointed out some existing problems.
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