石英晶振微天平湿度传感器响应特性研究

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石英晶振微天平传感器是传感器研究的一个热点,文中介绍了自行研制的一种以SPPESK为敏感元件的石英晶振湿度传感器,利用差频法测量了传感器的静态稳定性、重复性和线性度、灵敏度和动态响应.结果表明:该传感器具有良好的定动态响应特性,能够用于实际气体湿度的检测.
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