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双面金属铝包覆介质波导测量介质厚度和折射率
双面金属铝包覆介质波导测量介质厚度和折射率
来源 :大学物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:smilepk
【摘 要】
:
利用双面金属铝包覆波导的测量方法,测量了硅片的厚度和折射率。这种方法利用双面金属铝包覆波导的超高阶模的偏振不灵敏和对金属层要求较低的特点,降低了对仪器的要求和测量
【作 者】
:
费彬城
陈良雷
陈余行
朱鹏飞
【机 构】
:
上海工程技术大学
【出 处】
:
大学物理实验
【发表日期】
:
2013年1期
【关键词】
:
双面金属波导
折射率
超高阶模
耦合
double metal-cladding optical waveguide
refractivity
ultrah
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利用双面金属铝包覆波导的测量方法,测量了硅片的厚度和折射率。这种方法利用双面金属铝包覆波导的超高阶模的偏振不灵敏和对金属层要求较低的特点,降低了对仪器的要求和测量的成本。同时,由于应用高灵敏的超高阶导模为探针,测量精度较高,结果显示测量精度在1%以内。
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