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分析了透射率极值监控系统的精度与被监控膜层的光学厚度误差之间的关系，推导了在不同情况下薄膜淀积时，监控者于透射率极值点的判定误差和被镀层的光深厚误差之间的关系式，对规整膜系在透射率极值法监控镀膜系统中的淀积结果进行了电脑仿真。仿真结果与实验结果相吻。
采用透射频率极值法临近的薄膜淀积电脑仿真
【摘 要】
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分析了透射率极值监控系统的精度与被监控膜层的光学厚度误差之间的关系，推导了在不同情况下薄膜淀积时，监控者于透射率极值点的判定误差和被镀层的光深厚误差之间的关系式，对规
【机 构】
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华中理工大学激光技术国家重点实验室
【出 处】
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光电子．激光
【发表日期】
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2001年1期
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