【摘 要】
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采用大气等离子喷涂方法分别以Ar/H2和Ar/He作为工作气体在铝基体上制备氧化钇涂层。采用扫描电镜、X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪对涂层的成分及结构进行了分析。结果表明
【机 构】
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中国石油大学(北京)理学院光传感与光探测实验室; 中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室; 北京联合涂层技术有限公司;
【基金项目】
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国家科技重大专项(2008ZX02101-3)
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采用大气等离子喷涂方法分别以Ar/H2和Ar/He作为工作气体在铝基体上制备氧化钇涂层。采用扫描电镜、X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪对涂层的成分及结构进行了分析。结果表明,以氢气为辅助气体制备的氧化钇涂层,涂层中有少许立方相转变为单斜相。喷涂距离小于120 mm时,涂层表面出现黑色斑点。经700℃以上退火,黑色斑点减少并消失。而使用氦气作为辅助气体,可以得到纯正白色的单一相结构的氧化钇涂层,但由于氦气热焓值相对于氢气低,氧化钇颗粒未完全熔融,涂层不致密。
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