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本发明涉及对在三氯氢硅生产过程中的副产物四氯化硅的回收利用的工艺及设备，利用四氯化硅易水解的特性，使四氯化硅和稀盐酸及新鲜水在反应器中反应，生成氯化氢气体和二氧化硅，氯化氢气体经干燥后送往三氯氢硅合成炉回收利用，二氧化硅送往后续工序处理。设备包括使四氯化硅和稀盐酸及新鲜水在其中反应的反应器，
三氯氢硅生产过程中四氯化硅的回收利用方法
【摘 要】
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本发明涉及对在三氯氢硅生产过程中的副产物四氯化硅的回收利用的工艺及设备，利用四氯化硅易水解的特性，使四氯化硅和稀盐酸及新鲜水在反应器中反应，生成氯化氢气体和二氧化硅，氯
【出 处】
：
无机盐工业
【发表日期】
：
2010年3期
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