用作空间光调制器的压电可弯曲变形反射镜

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可弯曲反射镜的背面与多个小压电晶体执行元件相连。用这种反射镜可用于光计算机中的空间光调制器。这种反射镜在天文望远镜观测中可补偿大气畸变。在天文观测中要求可以控制波前的变化。与压电晶体方法及以前研制的自适应光学的可变形反射镜相比,多执行元件反射镜重量轻、响应速度快,需要的电压低,大量的执行元件可精确的控制面形。 图1是典型的单晶硅反射镜片和压电晶 The back of the bendable mirror is connected to a plurality of small piezoelectric crystal actuators. This type of mirror can be used for a spatial light modulator in a light computer. Such mirrors compensate for atmospheric distortions in telescope observations. Astronomical observations require the control of wavefront changes. Compared with the piezoelectric crystal method and the adaptive optics deformable mirror previously developed, the multi-actuator mirrors are light in weight, fast in response and low in voltage, and a large number of actuators can precisely control the surface shape. Figure 1 is a typical single-crystal silicon mirror and piezoelectric crystal
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