【摘 要】
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本文主要介绍软X射线等离子体光源、多层膜软X射线反射镜和软X射线显微镜。高强度的实验室用软X射线等离子体光源较之同步辐射具有体积小、造价低、光束大和单位脉冲光通量高
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本文主要介绍软X射线等离子体光源、多层膜软X射线反射镜和软X射线显微镜。高强度的实验室用软X射线等离子体光源较之同步辐射具有体积小、造价低、光束大和单位脉冲光通量高等优点。最近发展的多层镀膜用于软X射线正入射光学元件,可以得到比掠入射光学元件好得多的分辨率。软X射线显微镜提供了生物样品分析的一种新工具,它填补了常用的光学显微镜和电子显微镜之间的空隙。
This article focuses on soft X-ray plasma light sources, multilayer soft X-ray mirrors and soft X-ray microscopes. High intensity laboratory soft X-ray plasma light source with synchrotron radiation has the advantages of small size, low cost, large beam and unit pulse flux. The recent development of multi-layer coatings for soft X-ray positive incidence optics can achieve much better resolution than grazing incidence optics. Soft X-ray microscopy provides a new tool for biological sample analysis that fills the gap between commonly used optical and electron microscopy.
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