论文部分内容阅读
本文简要评述了近年来国外光学微细加工技术的最新进展。常规光学曝光己可满足16MDRAM生产的要求;准分子激光曝光有能力实现64M甚至256MDRAM生产;宽带步进扫描曝光机和激光图形制作系统也在集成电路制造中显示了强大实力。九十年代仍将是光学微细加工技术继续占居主导地位的时代。
充满活力的光学微细加工技术
【摘 要】
：
本文简要评述了近年来国外光学微细加工技术的最新进展。常规光学曝光己可满足16MDRAM生产的要求;准分子激光曝光有能力实现64M甚至256MDRAM生产;宽带步进扫描曝光机和激光图
【机 构】
：
机电部第四十五研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
1990年2期
其他文献
9月3日，以色列一年一度的国际创新盛会“DLD特拉维夫创新节”将于特拉维夫拉开序幕，作为本届创新节的重要组成部分，DLD特拉维夫创新大会也将于9月6日-7日在特拉维夫“Hatachana
“如果你爱他，就把他送到纽约，因为那里是天堂；如果你恨他，就把他送往纽约，因为那里是地狱。”——电视剧《北京人在纽约》美国，一个具有传奇性的国家，从殖民地到世界第一强国，这个国
益生菌,是一类主要定植在宿主的肠道、皮肤等部位,对宿主的相关系统的微生态稳定起到重要调节作用的活性微生物的总称。随着人们对益生菌研究的逐步深入,如何进一步发挥益生菌调理肠道的作用逐渐成为热点话题。目前已有很多的报道表明,传统中药,尤其是部分药食同源类和补益类中药能够有效的促进人体内的益生菌生长,并能抑制体内有害菌的繁殖。与此同时,中药进入人体并被分解后,还能起到直接拮抗病原菌和增强人体抵抗力等作用
随着我国信息技术业蓬勃发展,市场竞争日渐激烈,在日渐激烈的市场竞争环境下,为了满足自身利益最大化需求,该行业的公司成为财务报表舞弊发生的高频区。构建一个有效完善的上
[研究背景与目的]研究显示,在罹患癌症的女性中,乳腺癌的发病率和致死率居首位,是当今威胁女性生命健康的一大杀手,其中造成乳腺癌致死率之高的重要原因就是转移。传统中医药
圆形料场堆取料机回转承的寿命决定了设备的使用寿命,通过更换回转支承来延长设备使用寿命一直是困扰业主和制造部门的难题,本文通过对堆取料机底部回转支承的更换,延长了设
风力发电机组运行环境复杂恶劣,其叶片作为具有柔性的大型细长部件,长期在多重运行载荷的作用下,可能出现不同程度的过度变形,甚至由此引发叶片断裂,对风力发电机组的安全运
走进房山窦店的北京微生物实验厂,眼前出现的是一片荒凉景象:厂区荒芜,杂草丛生;设备老化,管道生锈;办公室成了厕所,大便满屋;原来200多人的厂子只留下50多人在那里小打小闹,
从Soleil海滨餐厅的招牌地中海及泛亚地区美食，到八仙桌中餐厅富有浓厚东方特色的粤菜及川菜以及The Care，穆丽雅在这个春季为我们呈现一系列丰富美味，等待你前来探索。