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针对多工位扩散炉的温度控制要求,介绍了以TCA785为核心的可控硅移相触发电路设计.详细介绍了TCA785的工作原理在智能扩散炉控制系统中的应用,以及在应用中应注意的问题.应用结果表明,该电路结构简单、可靠性高,便于工程应用,具有较高的经济效益和社会效益.
TCA785在扩散炉智能控制系统中的应用
【摘 要】
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针对多工位扩散炉的温度控制要求,介绍了以TCA785为核心的可控硅移相触发电路设计.详细介绍了TCA785的工作原理在智能扩散炉控制系统中的应用,以及在应用中应注意的问题.应用
【机 构】
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青岛理工大学计算机工程学院
【出 处】
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青岛理工大学学报
【发表日期】
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2008年01期
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