【摘 要】
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<正> 自1985年Binnig等人发明第一台原子力显微镜以来(简称AFM),AFM得到了迅速发展。它利用力敏感元件微悬臂的尖端作为探针,当针尖与样品非常接近时,它们之间的原子斥力使微
【机 构】
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冶金工业部自动化研究院,中国科学院北京电子显微镜实验室,中国科学院半导体研究所
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<正> 自1985年Binnig等人发明第一台原子力显微镜以来(简称AFM),AFM得到了迅速发展。它利用力敏感元件微悬臂的尖端作为探针,当针尖与样品非常接近时,它们之间的原子斥力使微悬臂发生偏转,用电学或光学的方法将这一偏转探测出来,送入一反馈装置,该反馈装置调节样品的高度,以使微悬臂偏转程度不变,当样品对微悬臂扫描时,便可得到样品表面图像。
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