利用离子注入激光退火制作高效率多晶硅太阳电池

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本文报道了利用离子注入和连续CO_2激光退火制作高效率太阳电池的工作,研究了激光功率密度和辐照时问对退火的影响,利用多种测量方法对不同条件下的退火效果进行了分析。制成的多晶硅太阳电池,其转换效率(有效面积)达13%(100mW/cm~2)。 This paper reports the fabrication of high efficiency solar cells by ion implantation and continuous CO2 laser annealing. The effect of laser power density and irradiation time on annealing is studied. The annealing effect under different conditions is analyzed by various measuring methods. Made of polycrystalline silicon solar cells, the conversion efficiency (effective area) up to 13% (100mW / cm ~ 2).
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