同步辐射储存环用国产溅射离子泵的发展方向

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根据真空系统运行条件,参考国内外SIP,拟订了同步辐射储存环用国产SIP的性能指标。结合SIP的机理和国际测试标准,对指标作了分析说明,以期加深国内真空泵厂对改进SIP必要性的认识,统一厂方和用户对指标的理解,在真空界推行公正的竞争,促进国产SIP质量的提高和走向国际市场。 According to the operating conditions of the vacuum system, referring to SIP both at home and abroad, the performance index of domestic SIP for synchronous radiation storage ring was developed. Combined with the mechanism of SIP and international testing standards, the indexes are analyzed and explained in order to deepen domestic vacuum pump factory’s understanding of the necessity of SIP improvement, unify the understanding of indicators by manufacturers and users, promote fair competition in vacuum industry and promote domestic SIP Improve the quality and to the international market.
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