Sm-Co非晶垂直磁化膜厚度的椭圆偏振法测量

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本文叙述了用椭圆偏振法测定Sm-Co非晶垂直磁化膜厚度的列线图法和搜索法,并对该膜样品进行了测量,结果表明这两种方法是简便可行的。 In this paper, the collinear method and the search method for measuring the thickness of Sm-Co amorphous perpendicular magnetization film by ellipsometry are described, and the film samples are measured. The results show that these two methods are simple and feasible.
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