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本文简述了光反馈激光开关干涉的基本原理，详细描述了应用计算机图象处理技术对方波信号进行内插细分的小位移测量方法及测量装置。使用这种方法可以达到０．００２μｍ的分辨率，其测量不确定度为０．０２μｍ（２σ）。实验表明，这种方法适用于在实验室条件下对小位移进行精密测量。
激光反馈干涉－计算机细分的小位移测量
【摘 要】
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本文简述了光反馈激光开关干涉的基本原理，详细描述了应用计算机图象处理技术对方波信号进行内插细分的小位移测量方法及测量装置。使用这种方法可以达到０．００２μｍ的分辨率，其测量不确定度为０．０２μｍ（２σ）。实验表明，这种方法适用于在实验室条件下对小位移进行精密测量。
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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0年JLXB503.006期
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