【摘 要】
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采用脉冲激光沉积法,在Pt/Ti/SiO2/Si基底上分别制备厚度为350nm的Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)、Pb0.5Ba0.5TiO3 (PBT)和Pb0.5Sr0.5TiO3 (PST)薄膜并研究了它们的介电性质.XRD显示,
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采用脉冲激光沉积法,在Pt/Ti/SiO2/Si基底上分别制备厚度为350nm的Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)、Pb0.5Ba0.5TiO3 (PBT)和Pb0.5Sr0.5TiO3 (PST)薄膜并研究了它们的介电性质.XRD显示,在相同的制备条件下三者具有不同的择优取向,PST具有(110)择优取向,PBT具有(111)择优取向,而BST则是混合取向.SEM显示三者样品表面均匀致密,颗粒尺寸大约在50nm至150nm之间.PST与BST、PBT相比有更高的介电常数,在频率为10kHz时,分别为
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