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光调制器是光通信关键器件之一。国内外已对LiNbO3电光调制器开展了基础理论、结构设计、工艺制 作、性能测试等方面的研究和开发。本文介绍了LiNbO3调制器关键制作技术与工艺。
LiNbO3电光调制器制作技术
【摘 要】
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光调制器是光通信关键器件之一。国内外已对LiNbO3电光调制器开展了基础理论、结构设计、工艺制 作、性能测试等方面的研究和开发。本文介绍了LiNbO3调制器关键制作技术与工
【机 构】
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中国电子科技集团公司电子第四十四研究所
【出 处】
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世界产品与技术
【发表日期】
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2003年11期
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