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期刊论文
MEMS中的簿膜制造技术
MEMS中的簿膜制造技术
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lunxyxd
【摘 要】
:
追述了薄膜淀积技术的历史,按照制备手段对MEMS制造中使用的各种薄膜制造技术进行了大致的分类和对比,介绍了相应的理论研究概况,除了电镀技术之外,MEMS技术基本来自传统的IC
【作 者】
:
董立军
陈大鹏
欧毅
黄钦文
石莎莉
焦斌斌
李超波
杨清华
叶甜春
【机 构】
:
中国科学院微电子研究所,北京,100029
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2006年1期
【关键词】
:
微机电系统
薄膜淀积
PVD
CVD
电镀
物理淀积
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追述了薄膜淀积技术的历史,按照制备手段对MEMS制造中使用的各种薄膜制造技术进行了大致的分类和对比,介绍了相应的理论研究概况,除了电镀技术之外,MEMS技术基本来自传统的IC制造工艺.
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