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薄膜科学与技术是当前高科技中的一个重要领域，用反射式椭偏仪测量薄膜厚度是一个重要的物理实验。然而，目前的内容只能确定膜厚在第一周期以内的值而不能确定膜厚的周期数，因而不能测得薄膜的实际厚度。本文讨论了这一问题并提供了一个简易可行的解决办法。
用反射椭偏术测膜厚实验中存在的问题及解决办法
【摘 要】
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薄膜科学与技术是当前高科技中的一个重要领域，用反射式椭偏仪测量薄膜厚度是一个重要的物理实验。然而，目前的内容只能确定膜厚在第一周期以内的值而不能确定膜厚的周期数，因而
【机 构】
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安徽大学物理系
【出 处】
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安徽大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1997年2期
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