论文部分内容阅读
对所研制的质谱测量与分析系统进行了性能测试。烘烤后系统的极限真空达到了7.3×10-7Pa，总漏气率为3.84×10-9Pa.m3.s-1。上下球室之间的气体压力，以及漏孔的漏气率与高分辨四极质谱计的氦分压力均呈现了良好的线性关系。结果满足动态流导法真空校准的技术要求，为氘、氦混合气体的测量与分析提供了条件。